High-NA EUV повышает требования к точности полупроводникового оборудования

High-NA EUV повышает требования к точности полупроводникового оборудования

Производство полупроводников вступает в еще Один сложный этап миниатюризации.

Проблема заключается уже не просто в производстве более мелких транзисторов. Производители полупроводников также ищут оборудование- да.способное поддерживать чрезвычайно жесткий контроль за процессами по мере усложнения чиповых архитектур.

Литография высокой евв является одной из технологий- да.находящихся в центре этого перехода.

Последние достижения показывают, что технология выходит за рамки лабораторных обсуждений и переходит к более широкому промышленному внедрению. Агентство Reuters сообщило 14 сентября, что < < асмл& > >#- 39; Системы высокой эвв следующего поколения вызывают большой интерес у крупных чипперов, при этом TSMC, Samsung и SK Hynix среди компаний готовятся к будущему внедрению.

Для отрасли, контролирующей движение, это развитие имеет важные последствия:

Точность полупроводникового оборудования все больше зависит от производительности каждого движения внутри машины.

Полупроводниковое оборудование зависит от управляемого движения

Литографическая система является чрезвычайно сложным элементом оборудования, но тот же принцип применяется в производстве полупроводников.

Системы обработки ваферов нуждаются в регулируемом перемещении.

Инспекционное оборудование нуждается в воспроизводимом местоположении.

Механизмы регулировки нуждаются в стабильном вращающемся или линейном движении.

Системы обработки материалов нуждаются в предсказуемом ускорении и замедлении.

Технологическое оборудование нуждается в компонентах для точного перемещения без ненужной вибрации.

Эти требования предъявляют жесткие требования к двигателям, подшипникам, линейным направляющим, коробкам передач и другим элементам трансмиссии.

Высокая евв повышает производительность оборудования

ASML&#- 39; Технология s High-NA EUV предназначена для поддержки дальнейшего расширения производства передовых полупроводников.

Reuters сообщил, что текущее поколение EUV-инструментов может обрабатывать чипы до примерно 800 квадратных миллиметров, в то время как ASML работает над большими масками для своих систем High-NA, так что технология может в конечном итоге поддерживать большие чипы data-center. Компания ожидает, что это позволит повысить производительность.

Технический прогресс свидетельствует о более широкой тенденции в области полупроводникового оборудования.

По мере уплотнения технологического окна производители оборудования имеют меньше возможностей для механической ошибки.

Система позиционирования, функционирующая надлежащим образом для обычного применения, может не подходить для процесса, требующего значительно большей стабильности и повторяемости.

Где контроль движения становится критическим

Движение внутри полупроводникового оборудования часто не драматично.

Сцена может перемещаться только на короткое расстояние.

Вращающийся механизм может вращаться под небольшим углом.

Механизм обработки ваферов может многократно выполнять одно и то же движение.

Но повторение меняет инженерные требования.

Система, возможно, должна выполнять одно и то же движение тысячи или миллионы раз, сохраняя предсказуемое поведение.

Таким образом, важными соображениями при выборе передающих компонентов могут стать обратная реакция, вибрация, жесткость, точность позиционирования и тепловое поведение.

Это одна из причин, по которой прецизионные планетарные коробки передач, гармонические редукторы, вращающиеся механизмы и линейные системы движения продолжают применяться в полупроводниковом оборудовании.

Коробка передач является лишь одной частью системы

Прецизионная коробка передач не может компенсировать непригодный двигатель, плохую механическую структуру или неадекватную систему управления.

Передача должна работать вместе с остальными системами движения.

Например, серво-двигатель может обеспечивать требуемую скорость и динамическую чувствительность, в то время как планетарная коробка передач обеспечивает умножение крутящего момента и контролируемое снижение частоты вращения.

В тех случаях, когда требуются компактные размеры и точная вращающаяся коробка передач, может быть выбрана гармоническая коробка передач.

Коробка передач с правым углом может решить проблему механического расположения, когда двигатель не может быть установлен в соответствии с ведомой осью.

В тех случаях, когда машина требует регулируемого линейного перемещения, может использоваться линейный двигатель или винтовой механизм.

Правильный выбор зависит от оси, а не просто названия отрасли.

Вибрация и обратная реакция материи в прецизионном оборудовании

В целом промышленная техника, небольшое количество механической игры может иметь мало влияния на производство.

Прецизионное полупроводниковое оборудование отличается.

Нежелательные перемещения могут влиять на выравнивание, позиционирование и повторяемость. Механическая вибрация может также влиять на производительность чувствительных процессов.

Это делает важными при проектировании оборудования такие характеристики трансмиссии, как обратная и торсионная жесткость.

Поэтому для изготовителей машин OEM процесс выбора коробки передач должен начинаться с требования о полном движении, а не с простого сопоставления номинального крутящего момента.

Полупроводниковое оборудование становится все более интегрированным

Еще одним изменением является усиление интеграции механических и электронных систем.

Контроллеры движения, серво-приводы, электродвигатели, датчики и механические передающие компоненты все чаще работают как единая скоординированная система.

Передача фенхуа и#- 39; s продуктовый портфель охватывает точностьПланетарные коробки передач, 3. Гармонические редукторы, Редукторы RV, прямоугольные коробки передач, вращающиеся платформы, электродвигатели и линейно-двигательные изделия для промышленной автоматизации и прецизионной техники.

Для производителей оборудования этот тип продукции позволяет рассматривать различные технологии передачи в соответствии с требованиями отдельных осей машин.

Что это значит для поставщиков компонентов Motion

Развитие высокочастотной эвв является одним из примеров более широкой тенденции в передовой обрабатывающей промышленности.

Чем более сложным становится производственный процесс, тем больше внимания производители оборудования должны уделять механическим деталям, которые когда-то считались само собой разумеющимся.

Коробки передач сами по себе не определяют производительность полупроводниковой машины.

Но стабильность, повторяемость и механическое поведение каждой стадии передачи могут способствовать производительности всего оборудования.

Передача данных по фенхуа Поэтому для поставщиков прецизионных компонентов движения эта возможность тесно связана с разработкой оборудования.

Понимание требований к применению, двигателю, нагрузке, скорости, пространству установки и местоположению зачастую более полезно, чем простое обеспечение стандартной коробки передач.

Поскольку полупроводниковое оборудование продолжает развиваться, этот подход на уровне применения будет по-прежнему иметь важное значение для следующего поколения высокоточного производства.